" ( ) "

³ ( )

 (0)

 (0)

    
  1 / 1 |   | | viewdetails | |  
 # 114678
Ѳ -ί ί Ͳ
      (uk)     (ru)     (en)      
( 20 .)  䳺
(11) 114678 (51)
C23C 14/22 (2006.01)
C23C 14/34 (2006.01)
C23C 14/56 (2006.01)
C23C 4/06 (2016.01)
H01J 37/317 (2006.01)
(24) 10.07.2017
(21) a201602566 (22) 16.03.2016
(41) 25.11.2016, . 22
(46) 10.07.2017, . 13
(56) SU 1412517 A1, 07.09.1990
UA 83263 C2, 25.06.2008
RU 2113538 C1, 20.06.1998
RU 2238999 C1, 27.10.2004
RU 2413792 C1, 10.03.2011
RU 2464355 C1, 20.10.2012
JP S 63-051630 A, 04.03.1988
WO 2012151789 A1, 15.11.2012
US 5630314 A, 20.05.1997
US 2002/0125123 A1, 12.09.2002
.. - /.. , .. // .- 2003.-. 4.- . 1-66
(71) " Ͳ Ͳ" (UA )
(72) (UA ); 䳿 (UA ); ³ (UA ); (UA ); (UA )
(73) " Ͳ Ͳ", . , 7, . , ., 87500 (UA )
(98) " "
. , 7, . , ., 87500
(UA)
(54) Ѳ -ί ί Ͳ
(57)
   
 
0.464864015579