" ( ) "

³ ( )

 (0)

 (0)

    
  1 / 1 |   | | viewdetails | |  
 # 116079
Ѳ ί ˲
      (uk)     (ru)     (en)      
,   ,
(11) 116079 (51) (2006)
H01L 33/00
C23C 14/00
(24) 10.05.2017
(21) u201610933 (22) 31.10.2016
(46) 10.05.2017, . 9
(71) Ͳ ֲ Ͳ Ͳ в (UA )
(72) (UA ); (UA ); (UA ); (UA ); ' (UA )
(73) Ͳ ֲ Ͳ Ͳ в , . , 2, . , 58012 (UA )
(98)
. , 2, . , 58012
(UA)
(54) Ѳ ί ˲
(57)
   
 
0.699836969376